✽1：以ISO9283为基准。
✽2：于川崎的无尘间内测得。
✽3：标准式样不含抓手。
✽4：分离电缆请从1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中选择。
NTS系列机器人规格
项目
标准
选项
型号
NTS10
NTS20
-
构造
水平多关节型
-
臂
单手臂
双手臂
-
自由度 (轴)
4
5
-
动作范围
θ1轴 (旋转・JT2) (°)
340
-
Z轴 (上下・JT3) (㎜)
470
-
θ2轴 (旋转・JT4) (°)
340
-
H1轴 (旋转・JT6)(°)
340
-
H2轴 (回転・JT7) (°)
-
340
-
大臂展 (mm)
1,066
-
重复性 (mm)✽1
±0.1 (晶圆中心)
-
无尘度✽2
ISO1级
-
抓手规格✽3
-
-
边缘夹持式 / 真空吸附式
控制柜
D60
示教器
分离电缆 (1-5m)✽4
操作盒
软件
标准软件
KRET
KMTerm
KR3D
KSUtility Lite
KSUtility
手册
使用说明书
-
通信说明书
-
通用软件 (K-Fast) 导入说明书
-
否则
-
校准器
-
测绘传感器
详细规格等内容请和各地区销售人员确认。
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